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半導體廢氣處理知識摘要

(共計:10)
  • Untitled Document [ivy1.epa.gov.tw]
    甚至上億之成本安裝濃縮焚化 之處理設備以處理VOCs廢氣,將使這些中小企業被迫關廠或外移,因此為使中小企業根留臺灣,又能兼顧環 保,政府必須設法提供低成本、高 效率之廢氣處理技術,生物處理與電解洗滌兩種處理技術即是最佳之選擇。

  • 半導體污染防治
    而半導體製程所使用的化學物質品種繁雜,其廢氣處理也可區分成許多不同性質處理方式。 本章將介紹關於無塵室中之集氣系統,與各類空氣污染物處理原則與技術。 空氣污染物收集系統 半導體製造是種高度精密化的工業,一些細微的環境或操作變動都有 ...

  • 東服企業(半導體廢氣處理設備)-東服企業(半導體廢氣處理設備)
    1996年東服企業有限公司成立研發部門,並獲美商CONQUER TEC.全力技術支援,並於1998年生產第一台中國人自行組裝之廢氣處理設備,在台灣半導體界造成轟動,由於品質及價格之優勢配合強大客戶服務支援,成為各半導體廠爭相採購之機台,並擊敗日本.韓國.德國 ...

  • 半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 改善半導體製程廢氣處理模式達成工業減廢與節省成本雙績效之成功案例 ...
    改善半導體製程廢氣處理模式達成工業減廢與節省成本雙績效之成功案例 ... 本案例乃應用LP-CVD製程廢氣特性,分別將製程廢氣導入適用之廢氣處理設備,亦即乾式吸附劑完全用於砷廢棄物處理 ...

  • 東服企業(半導體廢氣處理設備)-燃燒乾式廢氣處理機-廢氣處理設施-1111商搜網
    回商搜網 東服企業(半導體廢氣處理設備)>商品服務>燃燒乾式廢氣處理機 ... 商品名稱: 燃燒乾式廢氣處理機 型號:OSC–WL–001 商品原價:請電洽 商品說明: 設備產品:燃燒乾式廢氣處理機

  • 使用端有害氣體清除系統有效打造友善晶圓廠
    全球半導體產業之廢氣處理技術領導廠商德商達思公司,日前針對濕式蝕刻清洗台應用推出使用端(Point-of-Use)有害氣體清除系統SALIX。 達思廢棄處理事業部總監Guy Davies博士表示:「此系統完全是因應客戶需求而開發。之前有一家

  • 環保產業雙月刊第18期-淺談半導體製程廢氣處理
    有鑑於此,臺禹公司積極投入半導體製程機台所衍生的廢氣處理問題,並以提供安全的工作環境及保護環境生態為宗旨,設計開發了各種型式之廢氣處理系統,提供給各大半導體廠使用。以下針對泛用性較廣之燃燒加水洗式廢氣處理機,介紹其適用之氣體 ...

  • 半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 高科技業VOCs廢氣冷凝回收技術效率提升實務探討 - Semicondutor Magazine
    ... 對於處理IPA、Acetone、二氯甲烷及甲苯等較低沸點VOCs,去除效率僅有10至53%,不過此類中低沸點VOCs佔去光阻製程廢氣中濃度比例並不高。 (五)實廠研究設備 1. 半導體晶圓製造業 圖四為本研究設計之單段式冷凝吸收設備(搭配熱管熱回收)設計示意圖,主要處理 ...

  • 東服企業股份有限公司─1111人力銀行
    東服企業股份有限公司,半導體業,1982年,美國知名真空製造商Kurt . J Lesker Group 看準未來亞洲半導體優勢之發展並配合李國鼎先生培植半導體產業政策,遂結合台灣科技界之精英成立東服企業有限公司,專業代理Kurt J Lesker Group 真空原件及CDO廢氣處理設備.並於 ...

  • 半導體製造業空氣污染防制技術
    目前該行業所使用之酸液大多為硫酸、硝酸、鹽酸、磷酸和氫氟酸,因此其排放之酸性廢氣以這五種酸為主,大部份半導體製造業者均有裝設濕式洗滌設備處理酸性廢氣,其排放量約為使用量之1-5﹪。廢氣排放濃度約在數十ppm,屬於大風量低濃度之廢氣特性。

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