半導體製造業空氣污染防制技術

目前該行業所使用之酸液大多為硫酸、硝酸、鹽酸、磷酸和氫氟酸，因此其排放之酸性廢氣以這五種酸為主，大部份半導體製造業者均有裝設濕式洗滌設備處理酸性廢氣，其排放量約為使用量之1-5﹪。廢氣排放濃度約在數十ppm，屬於大風量低濃度之廢氣特性。

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