半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 高科技業VOCs廢氣冷凝回收技術效率提升實務探討 - Semicondutor Magazine

... 對於處理IPA、Acetone、二氯甲烷及甲苯等較低沸點VOCs，去除效率僅有10至53%，不過此類中低沸點VOCs佔去光阻製程廢氣中濃度比例並不高。 (五)實廠研究設備 1. 半導體晶圓製造業 圖四為本研究設計之單段式冷凝吸收設備(搭配熱管熱回收)設計示意圖，主要處理 ...

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