半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 改善半導體製程廢氣處理模式達成工業減廢與節省成本雙績效之成功案例 ...

改善半導體製程廢氣處理模式達成工業減廢與節省成本雙績效之成功案例 ... 本案例乃應用LP-CVD製程廢氣特性，分別將製程廢氣導入適用之廢氣處理設備，亦即乾式吸附劑完全用於砷廢棄物處理 ...

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