使用端有害氣體清除系統有效打造友善晶圓廠

全球半導體產業之廢氣處理技術領導廠商德商達思公司，日前針對濕式蝕刻清洗台應用推出使用端(Point-of-Use)有害氣體清除系統SALIX。 達思廢棄處理事業部總監Guy Davies博士表示：「此系統完全是因應客戶需求而開發。之前有一家

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