環保產業雙月刊第18期-淺談半導體製程廢氣處理

有鑑於此，臺禹公司積極投入半導體製程機台所衍生的廢氣處理問題，並以提供安全的工作環境及保護環境生態為宗旨，設計開發了各種型式之廢氣處理系統，提供給各大半導體廠使用。以下針對泛用性較廣之燃燒加水洗式廢氣處理機，介紹其適用之氣體 ...

www.env-industry.com.tw