半導體污染防治

而半導體製程所使用的化學物質品種繁雜，其廢氣處理也可區分成許多不同性質處理方式。 本章將介紹關於無塵室中之集氣系統，與各類空氣污染物處理原則與技術。 空氣污染物收集系統 半導體製造是種高度精密化的工業，一些細微的環境或操作變動都有 ...

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