Spin Coater 1 操作手冊 儀器原理. 微影製程包括三個主要步驟：光阻塗佈、曝光和顯影。本機台主要是應用 ... Bake）、塗底（Priming）和光阻旋轉塗佈（Spin Coating）、軟烤（Soft Bake）、對準和 ...
[技術專文] 噴霧式光阻塗佈的新應用- 《半導體科技．先進封裝與測試 ... 本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用，此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面，外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗 佈 ...
半導體科技.先進封裝與測試雜誌- 噴霧式光阻塗佈的新應用 ... 本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用，此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面，外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗 佈 ...
旋轉式光阻塗佈機/ 噴霧式光阻塗佈機 - SUSS MicroTec SUSS MicroTec塗佈機是具備精簡、易於使用之光阻塗佈設備，可生產從經濟實惠的小產量實驗室設備，到最大300mm之高階生產系統的完整產品線，因此可在相同的 ...
半導體製程技術 - 國立聯合大學 光阻. ▫ 感光材料. ▫ 暫時塗佈在晶圓上. ▫ 將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面 ... 光阻化學. ▫ 始於印刷電路技術. ▫ 1950年代後為半導體工業採用. ▫ 圖案化製程 ...
Chapter 6 微影技術 基本步驟，舊式技術. •晶圓清洗. •預烤. •底漆層和光阻的旋轉塗佈. •軟烘烤. •對準和曝光. •顯影. •圖案檢視. •硬烘烤. 光阻塗佈. 顯影 ...
光阻劑 光阻劑. • 光敏感物質. • 暫時塗佈在晶圓上表面. • 經由曝光製程將設計圖案轉移其上. • 非常類似於塗佈在 ... 在預烤製程中通常以臨場方式沈積. • 在光阻塗佈前以冷卻 ...
光阻塗佈機 - NFC奈米中心 - 國立交通大學 中文名稱, 光阻塗佈機, 英文名稱. Photo Resist Spinner. 儀器廠牌型號. Synrex 擎邦1-PM101D-R790. 購置年限. 1992年12月16日. 放置地點. 固態電子系統大樓1 ...
光阻顯影示意圖 微影的製程目的在於將光罩上的積體電路結構圖像，能夠轉移塗滿至光阻薄膜的晶 ... 其在晶圓上塗佈光阻方式利用旋轉塗佈為由在於，光阻材料多為液態，利用旋轉塗 ...
