光阻. ▫ 感光材料. ▫ 暫時塗佈在晶圓上. ▫ 將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面 ... 光阻化學. ▫ 始於印刷電路技術. ▫ 1950年代後為半導體工業採用. ▫ 圖案化製程 ...
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