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光阻塗佈方式知識摘要

(共計:20)
  • 光阻塗佈機 自動塗佈機
    乙揚精研:設計生產客戶需求的專業塗佈機、治具、檢具及多樣材質的機械零件加工製作。-English- -繁體中文- -日本語- . SPC-101 (510mm*550mm*550mm) 產品特色: ※ 連續可變的速度範圍 0-8,000 ...

  • TecLin Corp., Ltd. : Technology Value Linking全自動光阻塗佈/顯影機 | TecLin Corp., Ltd. :: Technology Value Li
    Teclin Co., Ltd. 穎強科技股份有限公司 ... 廠牌:SVS MSX1000 是針對光電、半導體製程所設計的模組化塗佈系統,適合於2”~6”的晶片,並可應用在ASICS、LED、OLED、MEMS 等製程,並可以因應不同光阻塗佈及顯影製程提供不同設計,在馬達轉速及加速,烤 ...

  • 光阻塗佈機 Roller Coater - 群翊工業/旺群科技 - 塗佈、乾燥、曝光及自動化整合
    首頁 简体中文 English LCD, Touch Panel, Back Light, Solar Cell Application 光阻塗佈機 Roller Coater 特色 單面水平塗佈。 塗膜厚度2-3µm或5-15µm,依製程需要 塗膜均勻性+ -10%以內 Back Top 台灣公司 TEL: +886-3-496-1638 FAX: +886-3-496-1313

  • TecLin Corp., Ltd. : Technology Value Linking黃光微影製程 | TecLin Corp., Ltd. :: Technology Value Linking
    Teclin Co., Ltd. 穎強科技股份有限公司 ... 全自動光阻塗佈/顯影機 MSX1000 是針對光電、半導體製程所設計的模組化塗佈系統,適合於2”~4”的晶片,並可應用在ASICS、LED、OLED、MEMS 等製程,並可以因應不同光阻塗佈及顯影製程提供不同設計,在馬達轉速 ...

  • [技術專文] 噴霧式光阻塗佈的新應用- 《半導體科技.先進封裝 ...
    本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用,此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面,外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗佈 ...

  • 旋轉式光阻塗佈機/ 噴霧式光阻塗佈機 - SUSS MicroTec
    SUSS MicroTec塗佈機是具備精簡、易於使用之光阻塗佈設備,可生產從經濟實惠的小產量實驗室設備,到最大300mm之高階生產系統的完整產品線,因此可在相同的 ...

  • 半導體製程技術 - 國立聯合大學
    光阻. ▫ 感光材料. ▫ 暫時塗佈在晶圓上. ▫ 將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面 ... 光阻化學. ▫ 始於印刷電路技術. ▫ 1950年代後為半導體工業採用. ▫ 圖案化製程 ...

  • Chapter 6 微影技術
    基本步驟,舊式技術. •晶圓清洗. •預烤. •底漆層和光阻的旋轉塗佈. •軟烘烤. •對準和曝光. •顯影. •圖案檢視. •硬烘烤. 光阻塗佈. 顯影 ...

  • Lithography introdution
    ... 圖案誤差增加,所以負光阻. 較不適合小於3um以下之製程技術。 ... 乎所有光阻塗佈皆以旋轉塗蓋(Spin coating)來進行,如下圖所示。 光阻厚度除與光阻液黏性有關 ...

  • TEL MK-8自動化阻劑旋轉塗佈及顯影系統介紹
    單元的製程原理及硬體,希望透過本文能使. 讀者對Tra ck System與微影製程的相關性有一. 基本的認識與了解。 二、TEL Tra ck System MK-8機. 型硬體簡介. 圖二A及 ...

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