[技術專文] LCD光阻塗佈技術與發展趨勢 - 《化合物半導體·光電技術》雜誌 次世代LCD光阻塗佈技術 隨著LCD顯示器躍為顯示產業的主流，同時有取代映像管電視的龐大需求驅使下，使得世界TFT-LCD各大廠積極投入次世代的TFT生產線，藉由基板的大型化來降低生產成本以提高產品的競爭力。
TecLin Corp., Ltd. : Technology Value Linking全自動光阻塗佈/顯影機 | TecLin Corp., Ltd. :: Technology Value Li Teclin Co., Ltd. 穎強科技股份有限公司 ... 廠牌：SVS MSX1000 是針對光電、半導體製程所設計的模組化塗佈系統，適合於2”~6”的晶片，並可應用在ASICS、LED、OLED、MEMS 等製程，並可以因應不同光阻塗佈及顯影製程提供不同設計，在馬達轉速及加速，烤 ...
光阻塗佈 微影技術是圖案化製程中將設計好的圖案從光罩或倍縮光罩上轉印到晶圓表面的光阻上時所使用的技術; 半導體產業則是在1950年採用微影技術來製造電晶體和積體電路 .... 半導體製程技術導論—羅正忠; www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm ...
微影技術中的光阻 | AZ Electronic Materials 狹縫式塗佈正型光阻（較低感光度），可使用於 half-tone 製程 新一代顯示器的 進階光阻 詳細資訊 SZF 系列 進階 half-tone 技術的高解析度光阻 ...
半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 噴霧式光阻塗佈的新應用 - Semicondutor Magazine 本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用，此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面，外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗佈製程相比它也可顯著的減少光阻用量且保持良好的塗佈均勻性。他也被發現可用於圓形基材及 ...
LCD 光阻塗佈技術與發展趨勢 - 豆丁网 其間，TFT-LCD 光阻塗佈技術隨著面板產品要 求日益嚴苛以及需求日增使玻璃基板大型化而需相對應地不斷提升，雖然目前國外 相關業者陸續提出或已開發出新的塗佈技術來達到降低生產成本以提高競爭力的目 的，但仍舊有若干問題待解決及提升，期許光 ...
[技術專文] 噴霧式光阻塗佈的新應用 - 《半導體科技．先進封裝與測試》雜誌 本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用，此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面，外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗佈製程相比它也可顯著的減少光阻用量且保持良好的塗佈均勻性。他也被發現可用於圓形基材及 ...
光阻流量偵測系統-竹陞科技股份有限公司 先進光阻流量偵測系統 半導體最核心製程在於微影技術上，而光阻塗佈是微影製程中極為重要的一環，雖說在製程上光阻的噴量多留些空間可以減少覆蓋不均的發生率但是造成噴塗的浪費，噴量最適化卻又增加一些製程條件及參數的緊縮及光阻壓力變化 ...
LCD 光阻塗佈技術與發展趨勢 - 豆丁网 2006 June 化合物半導體與光電技術 技術專文 P.61~64 LCD光阻塗佈技術與發展趨勢 蔡坤賢、張雍政/台灣安智電子材料股份有限公司 隨著數位時代的來臨以及多元化市場需求的帶動下，顯示器過去一直以映像管為 主流的局面，隨著各種平面顯示 ...
鼎岳科技股份有限公司-(新竹、竹北、半導體、過濾器、純化器、Mykrolis) ARC的塗佈及過濾技術 ARC (Anti-Reflective Coating)化學品於半導體製程中, 被用來控制光阻曝光成型(pattern)過程中所產生的駐波(standingwave)。在photo製程中, 氣泡的排除極其費事, 而微氣泡更會造成wafer defect. ARC, 尤其是TARC 通常含有高濃度的界面活性劑 ...
