Chapter 6 微影技術

基本步驟，舊式技術. •晶圓清洗. •預烤. •底漆層和光阻的旋轉塗佈. •軟烘烤. •對準和曝光. •顯影. •圖案檢視. •硬烘烤. 光阻塗佈. 顯影 ...

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