Spin Coater 1 操作手冊

儀器原理. 微影製程包括三個主要步驟：光阻塗佈、曝光和顯影。本機台主要是應用 ... Bake）、塗底（Priming）和光阻旋轉塗佈（Spin Coating）、軟烤（Soft Bake）、對準和 ...

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