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pecvd電漿arcing之改善研究知識摘要

(共計:18)
  • 台灣喜餅禮盒之包裝設計研究-以郭元益為例__臺灣博碩士 ...
    本研究首先蒐集喜餅禮盒相關之書籍、資料,以及瞭解喜餅來源、涵意及特色。次之觀察市面喜餅業的喜餅禮盒其視覺設計及包裝的風格並進行分析及探討。最後依研究 ...

  • 影響家長選擇幼兒課後才藝班因素之研究-以台北縣公立 ...
    根據研究結果顯示,一、目前台北縣公立幼稚園幼兒參與課後才藝班參加比例36.62 %,主要參加的課程類型以藝術型為主。二、幼兒之年齡對家長選擇課後才藝班實有 ...

  • 皮托科技Pitotech - 電漿(Plasma)在化學氣相沉積(CVD)製程之應用與特性-以COMSOL模擬電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)系統 ...
    ... 等都是電漿的行為呈現。電漿原理的了解和其特性之應用在近期是很熱門的主題,許多半導體晶圓製作過程都有運用電漿特性來改善製作 ...

  • 電漿源原理與應用之介紹 - 中華民國物理學會 The Physical Society of Republic of China
    物理雙月刊(廿八卷二期)2006 年4 月 441 環繞電流方向的時變磁場 (B),此磁場穿透介電窗,於電漿腔中感應產生一與RF 電流反向之電場 (E),此 電場加速電子並感應形成電漿電流 (Jp)。由於此電磁 感應機制與與變壓器原理相同,其中線圈為變壓器之

  • 電漿源原理與應用之介紹
    另外在半導封裝及紡織業方面,則使用電漿來清潔及改變材料表面以達到特殊的功能 及效果。在環保方面,電漿火炬可以安全 ...

  • 交通大學學術集成 National Chiao Tung University IR:Item 987654321/59638
    Title: PECVD電漿Arcing之改善研究 On the reduction of the Plasma Arcing in a PECVD Chamber Authors: 彭元宗 ...

  • 光電產業設備技術專輯 - yalu
    研究,探討Ar 電漿與SiH4、H2 工作氣體對於製程腔 體內部流場及微晶矽薄膜沉積特性的影響。模擬部 ... 濃度分佈之影響。一般 ...

  • 電子學位論文服務
    [58] 彭元宗, PECVD 電漿Arcing 之改善研究,碩士論文,國立交通大學工學院 碩士在職專班精密與自動化工程學程,新竹,2006。 [59] ...

  • 電子學位論文服務
    研究中將不同幾何造型之鰭片搭配組合,設計出「銅柱型」、「摺疊鰭片型」與「銅球型」三種流道型式後 ... 李振榮,向雄海,「交叉耦合適應性控制在輪廓誤差 ...

  • 行政院原子能委員會 委託研究計畫研究報告
    2 2. 研究方法與過程 一、 SiH 4 /H 2 電漿放射光譜量測 (In-Line PECVD) 本 研究所沉積的微晶矽薄膜是利用核研所物理組所有之In-Line ...

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