電漿表面改質及摻雜對 LPCVD 氧化鋅膜效應之研究

近日 研究發現，對半導體材料施以 電漿 表面改質，可以大幅 改善 其光電特性表面 改質主要是利用惰性氣體原子的碰撞，會 ...

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