交通大學學術集成 National Chiao Tung University IR: PECVD電漿Arcing之改善研究 彭元宗 2003 S45C薄板之精密剪斷加工條件對斷面品質的影響之研究 王理常; Wang, Lee-Chang 2011 ...
高頻電漿CVD不同功率對非晶矽膜及薄膜太陽能電池之特性分析 高頻 電漿CVD不同功率對非晶矽膜及薄膜太陽能電池之特性分析 沈炤德 1王朝俊 王勝進 *連水養1, 2 陳家富 1 明道大學材料科學與工程學系 2 明道大學太陽光電 ...
Study on the analytic simulation of plasma system 委託 研究計畫 研究報告 電漿 系統監控模擬分析 研究 Study on the analytic simulation of plasma system ...
PECVD 電漿Arcing 之改善研究 2013年9月16日 - Title: PECVD電漿Arcing之改善研究. On the reduction of the Plasma Arcing in a PECVD Chamber. Authors: 彭元宗. Contributors: 吳宗信.
PECVD電漿Arcing之改善研究 - NCTU IR - 國立交通大學 2013年9月16日 - Title: PECVD電漿Arcing之改善研究. On the reduction of the Plasma Arcing in a PECVD Chamber. Authors: 彭元宗. Contributors: 吳宗信.
交通大學學術集成National Chiao Tung University IR:Item ... 2013年9月16日 - 題名: PECVD電漿Arcing之改善研究. On the reduction of the Plasma Arcing in a PECVD Chamber. 作者: 彭元宗. 貢獻者: 吳宗信. 關鍵詞: 化學氣 ...
國立中央大學圖書館碩博士論文授權書 1991年7月10日 - 研究生簽名: 陳家豪. 論文名稱: 大面積低溫微波電漿輔助化學氣相沉積薄膜之研究 ... 列區Arc 現象及測試系統的穩定度；第二階段，待系統穩定後，藉由. 改變系統總 ..... 鑽石薄膜本身就具有良好的導熱性，可大幅改善半導體的散熱. 問題，加上 .... PECVD 系統所使用的原料多為含碳的有機氣體及氫氣等。1975. 年，蘇聯 ...
逢甲大學化學工程學系碩士論文 - 逢甲大學學位論文提交查詢 ... 在本論文中，係以感應式耦合電漿化學氣相沉積系統成長氮化矽. 薄膜。研究工作可以分為兩個部分，首先探討沉積參數，包括ICP 功. 率、Bias 功率、 ... 利用即時沉積即時處理的方法來改善薄膜品質，期望能成長出含氫量. 低的氮化矽膜。 ..... 或是以電漿輔助. 化學氣相沉積(plasma-enhanced chemical vapor deposition，PECVD)的.
