逢甲大學化學工程學系碩士論文 - 逢甲大學學位論文提交查詢系統

在本論文中，係以感應式耦合電漿化學氣相沉積系統成長氮化矽. 薄膜。研究工作 可以分為兩個部分，首先探討沉積參數，包括ICP 功. 率、Bias 功率、 ... 利用即時沉積 即時處理的方法來改善薄膜品質，期望能成長出含氫量. 低的氮化矽膜。 ..... 或是以電 漿輔助. 化學氣相沉積(plasma-enhanced chemical vapor deposition，PECVD)的.

www.google.com.tw