皮托科技Pitotech - 電漿(Plasma)在化學氣相沉積(CVD)製程之應用與特性-以COMSOL模擬電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)系統 ...

... 等都是電漿的行為呈現。電漿原理的了解和其特性之應用在近期是很熱門的主題，許多半導體晶圓製作過程都有運用電漿特性來改善製作 ...

www.pitotech.com.tw