半導體製程及原理 半導體工業的製造方法是在矽半導體上製造電子元件 (產品包括:動態記憶體、靜態記億體、微虛理器…等),而電子元件之完成則由精密 ... (5)純水設備再生廢水:NaOH、HCl、H 2 O 2。 (6)濕式洗滌塔廢水:洗滌廢氣所含之污染質。 2. IC構裝製造作業主要污染源為切割 ...
半導體污染防治 而半導體製程所使用的化學物質品種繁雜,其廢氣處理也可區分成許多不同性質處理方式。 本章將介紹關於無塵室中之集氣系統,與各類空氣污染物處理原則與技術。 空氣污染物收集系統 半導體製造是種高度精密化的工業,一些細微的環境或操作變動都有 ...
離子佈植 - 中研院物理研究所 一般而言,離子佈植機的構造主要包括下列的系統:離子源(ion source)、分析 ... 其中離子源係為產生各種離子的基本設備,其工作原理係將靶材物質游離,使其形成 帶 ...
「離子植入法+退火處理法」。 這些元素藉由熱擴散法或離子植入法摻入矽中,目前以離子植入法為主流。 雜質摻入 .... 絕緣層的產生,也就是氧的植入等,需要使用高能量離子植入機。此外,源極/汲 ...
翔名明年力拼賺一個股本 半導體耗材類股的明日之星 -財訊快報 隨著台積電增加資本支出,其供應鏈也獲得市場高度關注。在半導體耗材類股中,翔名近二年獲利能力表現相當突出,在本益比偏低的情況下,頗值得留意。 二 一一年對半導體廠商而言,是相當平淡的一年,不過,半導體耗材廠商翔名 ( 8091 ) 還是繳出 ...
敏盛科技 這個頁面上的內容需要較新版本的 Adobe Flash Player。 Implanter Spare Parts 詳細說明 VARIAN/AXELLIS/ NISSIN設備 離子植入機之特殊材料關鍵零件耗材 用途 HC、MC 規格 石墨(Graphite)製品、鉬(Molybdenum)製品、鎢(Tungsten ...
應用材料公司精進3D晶片架構的離子植入技術| Applied Materials 3 天前 ... ... 900 3D系統提供無與倫比的離子光束精確度,用於摻雜複雜的鰭式場效電晶體( FinFET)及3D記憶體結構 ...
半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 離子植入:32奈米與22奈米元件製程的新促動要素 - Semicondutor Magazine 多年來,離子植入設備供應商主要在產能與擁有成本的差異上進行競爭,邁入32奈米與22奈米製程的挑戰,開啟了新的機會,離子植入製程業已接軌,成為未來技術節點進行晶片製造的重點技術。 一開始,離子植入即為主力製程,VLSI電路因植入技術的固有 ...
Applied Solion®離子植入機 | Applied Materials Applied Solion離子植入系統運用經過生產驗證的平臺技術,為製造結晶矽光電電池的精密度、生產率和靈活性設定全新標準。 由於運用Solion系統的平臺技術,電池製造商既能提高電池效率,又能降低生產成本。
朝向更低能量之離子植入製程新趨勢與超淺接面的製作 本文所要探索的就是以高質量分子植入(High Mass Molecular Implant)及. 低溫植入 (Cold Implant)來提升 .... 到以BF2 離子植入來增加離子佈植機的產能。然而氟. 原子不是摻雜元素,卻會 ...