行政院環保署-全國環境水質監測資訊網 行政院環境保護署監測及資訊處91年起統籌辦理全國環境水體水質監測業務，採樣作業均以行政院環境保護署環境檢驗所公告「河川、湖泊及水庫水質採樣通則」（NIEAW104.51C）、「監測井地下水採樣方法」（NIEAW103.54B）、「水質檢測方法總則」（NIEAW102.51C ...
膜厚儀/橢偏儀/真空鍍膜/蝕刻 - 先鋒科技-紅外氣體偵測器,雷射護目鏡,手動微調平台,LED量測,太陽光模擬器,膜 ... 先鋒科技專業光電量測儀器代理,產品有光譜儀,雷射加工,太陽光模擬器,太陽能電池檢測,光譜式橢圓偏光儀,科研等級CCD,近場光學顯微鏡,光纖雷射,螢光光譜儀,拉曼光譜儀,NIR近紅外光譜儀,特殊雷射氣體,CCD,輝度/色度計,光譜式LED參數量測儀,LED light bar檢測 ...
電漿 - 維基百科，自由的百科全書 電漿 （ Plasma ）是一種由 自由電子 和帶電 離子 為主要成分的物質形態，廣泛存在於 宇宙 中，常被視為是物質的第四態，被稱為電漿態，或者「超氣態」，也稱「電漿體」。電漿具有很高的 電導率 ，與 電磁場 存在極強的 耦合 作用。電漿是由 ...
什麼是電漿？ 什麼是電漿？ 最早在1920年代，Langmuir等人首先研究電漿中的現象，而在1929年Langmuir使用了「電漿（plasma）」來敘述此一離子化氣體的現象。 若對物質施加高溫或加速電子、加速離子等能量，中性物質會透過激發、解離、離子化等反應而產生分子 ...
Chapter 7 電漿的基礎原理 2. 目標. • 列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ...
電漿反應器與原理 本文先對電漿現象及原理作概述，再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異，而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%，近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛， 如 ...
ICP - 國研院儀科中心 建置在本中心之 STS 感應耦合電漿 離子蝕刻系統，其硬體基本規格如下：上電極線圈為 1000 W、頻率 13.56 MHz 的 RF 電源，下電極為 300 W、頻率 13.56 MHz 的 RF 電源。晶片冷卻方式為背面氦氣冷卻 ...
中心公告 - NCKU, 成功大學-儀器設備中心 NCKU, 成功大學-儀器設備中心 ... 儀器設備中心文宣 中心簡介 中心任務 設置辦法 中心位置 中心主任 儀器分析組(國科會貴重儀器使用中心)
光電探測器,感應/偵測/感測器 - 先鋒科技 先鋒科技專業光電量測儀器代理,產品有光譜儀,雷射加工,太陽光模擬器,太陽能電池檢測,光譜式橢圓偏光儀,科研等級CCD,近場光學顯微鏡,光纖雷射,螢光光譜儀,拉曼光譜儀,NIR近紅外光譜儀,特殊雷射氣體,CCD,輝度/色度計,光譜式LED參數量測儀,LED light bar檢測 ...
設備名稱Equipment 感應耦合離子電漿(Inductively-Coupled Plasma ... 感應耦合型電漿相較於反應離子蝕刻的腔體構造基本上相同，但前者多感應線圈配備 ，當射頻. 電流通過線圈時，經由感應 ...
