膜厚儀/橢偏儀/真空鍍膜/蝕刻 - 先鋒科技-紅外氣體偵測器,雷射護目鏡,手動微調平台,LED量測,太陽光模擬器,膜 ... 先鋒科技專業光電量測儀器代理,產品有光譜儀,雷射加工,太陽光模擬器,太陽能電池檢測,光譜式橢圓偏光儀,科研等級CCD,近場光學顯微鏡,光纖雷射,螢光光譜儀,拉曼光譜儀,NIR近紅外光譜儀,特殊雷射氣體,CCD,輝度/色度計,光譜式LED參數量測儀,LED light bar檢測 ...
什麼是電漿？ 什麼是電漿？ 最早在1920年代，Langmuir等人首先研究電漿中的現象，而在1929年Langmuir使用了「電漿（plasma）」來敘述此一離子化氣體的現象。 若對物質施加高溫或加速電子、加速離子等能量，中性物質會透過激發、解離、離子化等反應而產生分子 ...
Chapter 7 電漿的基礎原理 2. 目標. • 列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ...
電漿反應器與原理 本文先對電漿現象及原理作概述，再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異，而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%，近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛， 如 ...
ICP - 國研院儀科中心 建置在本中心之 STS 感應耦合電漿 離子蝕刻系統，其硬體基本規格如下：上電極線圈為 1000 W、頻率 13.56 MHz 的 RF 電源，下電極為 300 W、頻率 13.56 MHz 的 RF 電源。晶片冷卻方式為背面氦氣冷卻 ...
照護一位因痛風石引發壞死性筋膜炎病人之照護經驗 - TEPS ... 期望藉由此篇個案報告的撰寫，提供護理人員照護壞死性筋膜炎個案之參考。 This article described the ...
中心公告 - NCKU, 成功大學-儀器設備中心 NCKU, 成功大學-儀器設備中心 ... 儀器設備中心文宣 中心簡介 中心任務 設置辦法 中心位置 中心主任 儀器分析組(國科會貴重儀器使用中心)
光電探測器,感應/偵測/感測器 - 先鋒科技 先鋒科技專業光電量測儀器代理,產品有光譜儀,雷射加工,太陽光模擬器,太陽能電池檢測,光譜式橢圓偏光儀,科研等級CCD,近場光學顯微鏡,光纖雷射,螢光光譜儀,拉曼光譜儀,NIR近紅外光譜儀,特殊雷射氣體,CCD,輝度/色度計,光譜式LED參數量測儀,LED light bar檢測 ...
設備名稱Equipment 感應耦合離子電漿(Inductively-Coupled Plasma ... 感應耦合型電漿相較於反應離子蝕刻的腔體構造基本上相同，但前者多感應線圈配備 ，當射頻. 電流通過線圈時，經由感應 ...
感應耦合電漿離子蝕刻技術(I) Inductively Coupled Plasma Reactive ... 2005年12月21日 ... 本中心的感應耦合電漿離子蝕刻製程技術，主要是利用電漿來進行蝕刻，具有較佳的 非等向性蝕刻。感應耦合電漿離子蝕刻(ICP) 為目前矽深蝕刻最 ...
