感應耦合電漿離子蝕刻技術(II) Inductively Coupled Plasma Reactive ... 2005年12月21日 ... 感應耦合電漿離子蝕刻系統包含非等向性蝕刻、保護製程及等向性蝕刻，Dry SCREAM 製程技術利用上述特性，只需一道黃光製程及接續的ICP 製程 ...
感應耦合電漿離子矽蝕刻系統(ICP System) 建置在本中心之STS感應耦合電漿離子蝕刻系統，其硬體基本規格如下：上電極線圈 為 1000 W、頻率 13.56 MHz 的 RF 電源，下電極為 300 W、頻率 13.56 MHz 的 RF ...
行政院環境保護署環境檢驗所－環境檢測方法查詢 環境保護署環境檢驗所環境檢測方法 ... (前處理／)上機方法編號 檢驗類別 (前處理／)上機方法 名稱 檢測項目許可次數 方法許可之檢測機構家數
帆宣系統科技股份有限公司 | 廠商資訊 - 台灣電子設備協會 帆宣系統科技股份有限公司 帆宣系統科技股份有限公司成立於1988 年，以專業科技的技術服務供應者自許，致力於投入半導體、平面顯示器製程設備及材料代理業務，並提供廠務系統TURNKEY 服務等；近年來帆宣公司更進一步跨入LED、OLED 等光電製程設備 ...
感應耦合電漿質譜分析儀 INDUCTIVELY COUPLED PLASMA-MASS SPECTROMETER, ICP-MS - 貴重儀器中心 請填寫網站簡述 ... 感應耦合電漿質譜分析儀 INDUCTIVELY COUPLED PLASMA-MASS SPECTROMETER 儀器中文名稱：感應耦合電漿質譜分析儀
主要設備 - 銳捷科技股份有限公司 黃光微影設備 步進式曝光機（Stepper） ‧最小解析度 0.7 um ‧對位精度 1 um 光罩對位曝光機（Aligner）
奈米深蝕刻系統(感應耦合離子電漿) - 微奈米科技研究中心 - 國立成功 ... Editor. Date. SOP. EIS-700 ICP 奈米深蝕刻系統SOP. 1. 沈欣燕2013/11/18. Inductive Coupled Plasma Etching System. 奈米深蝕刻系統. (感應耦合離子電漿) ...
感應耦合電漿離子矽蝕刻系統開放對外技術服務 - 國研院儀科中心 2007年7月5日 ... 本中心近年來極力發展類LIGA 製程技術，感應耦合電漿離子蝕刻系統的購置與建立 ，可對矽進行高的深寬比結構加工，並已初步完成軟硬體功能測試 ...
旗勝科技股份有限公司 - 我們的能力 - 可靠性設備 旗勝SER政策 旗勝SER承諾 產品製程 品質政策 綠色產品 可靠性設備 環安衛政策 職場安全與環境衛生 開創幸福家園 首頁 > 我們的能力 > 可靠性設備 聚焦離子束系統, FIB 應用/機能： FPC或金屬材料斷面製作、斷面及表面觀察
中原大學應用物理研究所碩士學位論文感應耦合式電漿蝕刻 ... 蝕刻。活性離子束蝕刻屬於傳統的乾蝕刻方法，電漿密度最低（約每. 立方公分10. 9 ... 電子迴旋共振蝕刻及感應耦合式電漿蝕刻即屬於高密度電漿系統，有. 較高的電漿 ...
