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pecvd設備知識摘要

(共計:20)
  • 半導體製程設備、反應式離子蝕刻機、電漿輔助化學沉積系統、製程膠帶
    提供各種顯微鏡、光源鏡組、金相設備、攝影機、量測軟體、半導體製程設備等、反應式離子蝕刻機、電漿輔助化學沉積系統等。力丞儀器科技有限公司,桃園縣桃園市經國路9號7 ...

  • PECVD報告
    PECVD工作原理 腔體內有上下兩塊電極,工件 置於下面的電極基板之上,電 極基板加熱至100 ~400 之 ... 成膜原理 陰極電弧法 電漿化學氣相沈積 非平衡磁控濺鍍 ARC Plasma CVD UBMS 成膜原料 固體碳 C2H2 (氣體) 固體碳 成膜溫度 ~400 ...

  • 電漿輔助化學氣相沉積(PECVD) - 駿佳科技首頁
    電漿輔助化學氣相沉積 Model: PECVD-Clip Series Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) 規格: 一. 綜合說明: 腔體上蓋板上掀式設計,手動放置晶片, ...

  • PECVD - NFC奈米中心
    中文名稱 電漿輔助化學氣相 沉 積系統 英文名稱 Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) 儀器廠牌型號 Samco 購置年限 1998 年7月 放置地點 固態電子系統大樓 1樓 116實驗室 (TEL:55666) 機台狀況 重要規格

  • PECVD電漿輔助化學氣相沉積::鉅永真空科技股份有限公司
    1. 基板尺寸: 12” 2. 單腔體:約500x500x400mm 3. 加熱系統:搭配PID溫控器,Stage 最高溫可控制在300℃ 4. 電源: RF電源 5.

  • 電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD) - NFC奈米中心 - 國立交通大學
    中文名稱, 電漿輔助化學氣相沉積系統, 英文名稱. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD). 儀器廠牌型號.

  • 高頻電漿CVD 不同功率對非晶矽膜及薄膜太陽能電池 ... - 明道大學
    高頻電漿CVD 不同功率對非晶矽膜及薄膜太陽能電池之特性分析. 沈炤德1. 王朝俊1 . 王勝進1. *連水養1, 2.

  • 材料世界網:台灣矽薄膜太陽電池的發展契機與未來挑戰
    台灣 矽薄膜太陽電池的發展契機與未來挑戰 2008/1/2 [ 友 善 列 印 | 推 薦 好 友 ] ...

  • PECVD設備應用光電膜性能提昇研究 - 行政院原子能委員會
    鋅(AZO),結合交大現有PECVD 製作氫化非晶矽薄膜太陽能電池沉. 積技術,以探討 不同的不鏽鋼基板對太陽光吸收膜之光 ...

  • PECVD-電子工程專輯
    ... ;該中心位於德國Alzenau,面積2000平方公尺,配備了先進的模組製造 設備,包括應用材料的 PECVD和ATON ...

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