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pecvd設備架構分析知識摘要

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    主要使學生了解實驗最佳化原理,及如何應用實驗最佳化的工具,在系統的設計製造過程中來 ... 而精密加工與微機電(MEMS)技術也被使用來製造微小化的機械元件。

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