PECVD設備應用光電膜性能提昇研究 - 行政院原子能委員會

鋅(AZO)，結合交大現有PECVD 製作氫化非晶矽薄膜太陽能電池沉. 積技術，以探討 不同的不鏽鋼基板對太陽光吸收膜之光 ...

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