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電漿清潔原理知識摘要

(共計:20)
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  • Chapter 7 電漿的基礎原理
    2. 目標. • 列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ...

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    2011年5月20日 ... 目前電漿技術已廣泛應用於各產業上,如:光電與半導體產 ... 漿技術之原理、發展與 應用做一深入探討。 電漿簡介. 電漿態(plasma)是人類繼固、液、 ...

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