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電漿清洗原理知識摘要

(共計:20)
  • 半導體製程及原理
    半導體工業的製造方法是在矽半導體上製造電子元件 (產品包括:動態記憶體、靜態記億體、微虛理器…等),而電子元件之完成則由精密 ... (5)純水設備再生廢水:NaOH、HCl、H 2 O 2。 (6)濕式洗滌塔廢水:洗滌廢氣所含之污染質。 2. IC構裝製造作業主要污染源為切割 ...

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  • 實驗2 以電漿濺鍍法製作金屬薄膜
    一、實驗目的 學習利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)製作金屬薄膜。1.瞭解真空技術的基本知識; 2.掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法; 3.瞭解真空鍍膜的基本知識; 4.學習掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法.

  • Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University
    電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 • 說明平均自由路徑 • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 • 列出兩 ...

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  • Chapter 7 電漿的基礎原理
    2. 目標. • 列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ...

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    2011年5月20日 ... 目前電漿技術已廣泛應用於各產業上,如:光電與半導體產 ... 漿技術之原理、發展與 應用做一深入探討。 電漿簡介. 電漿態(plasma)是人類繼固、液、 ...

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