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微機電系統技術與應用知識摘要

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    微機電系統技術可用來製造低成本的感測器及致動器,目前應用微機電系統技術製作 的產品有壓力計、生化感測器、加速計、 ...

  • 微機電系統與奈米科技 - 國內學術電子期刊系統
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