微機電系統與奈米科技 - 國內學術電子期刊系統

微機電系統（micro electro mechanical systems，. MEMS）的組成包括：微感測器、微驅動器、及控制電. 路，其技術與應用涵蓋了工程、科學和醫學領域。此技. 術在一九 ...

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