p003 大氣壓電漿技術於太陽能電池之應用/楊國煇，劉志宏，張 ...

半導體工業的蓬勃發展，使得電漿技術更趨成. 熟，並且已 ... 要膜層之技術應用與原理介紹，並針對大氣壓電. 漿於 ... 則無法應用，故操作於一大氣壓的均勻常壓電漿.

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