oxygen plasma的原理及運作和運用 - 這是我的部落格 - Yahoo!奇摩部落格

氧電漿可快速地使高分子形成自由基,然後可快速地與氧自由基或氧分子反應,可迅速氧化材料表面. 此外, 電漿化學的工業上利用是在半導體積體迴路的製造上有劃時代的成功,初期以氧電漿氧化除去矽基板上的photoresist,不久開發利用freon電漿中生成之原子狀 ...

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