ZnO 壓電薄膜的製作與分析 - 歡迎蒞臨 吳鳳科技大學全球資訊網

4 圖8 Pt基板和Si 基板的比較 圖9 在矽基板上出現過最好的撓射峰 AFM 轉速影響的表面來看，轉速愈高愈久 其表面是愈平坦的，但如果太高會使溶劑 無法附著；太久則會造成溶劑在基板上乾 燥而撥落。太慢則會形成大顆粒之外，還

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