ZnO 壓電薄膜的製作與分析 - 吳鳳科技大學

1 5 分2 次，其目的是在清洗矽基. 板上的油質與雜質。 乙、 用蒸餾水進行超音波震盪 器振洗. 1 5 分，其目的是在清洗矽基板上. 的殘餘乙醇與雜質。 丙、 送入200 ~ 250 ...

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