膜厚量測,非接觸式膜厚量測,薄膜厚度量測 ... 波長範圍:200 – 8000 nm 可選 可測膜厚:1 nm ~ 1 mm 可測光學常數 精確度:0.1nm or 0.2% 重覆性:0.01nm or 0.1%
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