The CIC CMOS MEMS Design Platform for Heterogeneous Integration

定義與規範手冊供設計者作為參考準則。CIC 所採用的CMOS MEMS 後製程主要是 乾. 式的蝕刻技術，而將CMOS 中的氧化層與矽基板作區域性的蝕刻清除步驟，其 ...

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