TMFC50V質量流量控制器 第一通用科技 FGT

型號 TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A 流量範圍(N2) 10sccm~30SLM 10sccm~30SLM 10scc~50SLM 10scc~50SLM 反應速度 ≦1.0 sec 精度 ±1.0 % FS 重覆精度 ±0.25 % FS 耐壓 1300 PSIG 洩漏率 1 x 10-9 atm.cc/sec or less 操作溫度 0~50 配件材質

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