TFT-LCD製程設備產業分工模式實例與策略探討

表1 TFT-LCD製程 簡要說明 製 程 說 明 流 程 電極陣列(ARRAY) 主要是製造TFT基板及彩色濾光片(Color Filter)。 玻璃清洗→薄膜形成→清洗→光阻塗佈→曝光→顯影→蝕刻→光阻剝離→清洗→測試 ...

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