TFT-LCD製程玻璃基板洗淨 - NEW JEIN INDUSTRIAL CO, LTD

TFT-LCD製程玻璃基板洗淨原理介紹 Nixon Shen 作成(06.04.18) 捷胤總合研究所 前 言 依實際的TFT-LCD製造工程流程，從化學氣相沉積(CVD)、微影(Photo)、蝕刻(Etch)、至濺鍍(Sputter)等製程多次重複循環，每一到製程步驟都是潛在性的污染源，可導致 ...

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