TFT-LCD ITO蝕刻機製程條件最佳化研究 - 國家圖書館全國博碩士論文

本研究利用ITO濃度計原理及ITO樹脂塔設備，使ITO蝕刻液重覆使用於TFT-LCD ITO 蝕刻機，並探討蝕刻液回收製程條件最 ...

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