SiC的產業應用

SiC/Si 的製作 碳化矽 / 矽結構生長最主要生長方法為化學氣相沈積 (C hemial Vapor Deposition，CVD) 為主，但開發出來的大都為 非晶、多晶 α-SiC 薄膜或者 3C-SiC 薄膜為主；另有分子束磊晶 ...

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