Scanning electron microscopy (SEM)

掃描式電子顯微鏡儀器構造(電磁透鏡) ' 0 0 S S S S (1) 電子束大小(probe size) d × i × SEM的解析度約等於最小電子束直徑，電子束大小為: 因此可經由增加聚束鏡(condenser lens)強度或減少工作距離(S)來縮小電子 束的大小，以提高解析度。

140.113.226.70