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820S TOP-TRAK 質量流量計 820S本體材料為不鏽鋼，滿量程為10SCCM到500SLPM，可測量絕大多數的潔淨氣體，包括腐蝕性氣體和有毒氣體。820S的傳感器具有可清潔功能，測量精度1.5﹪F.S (或1.0﹪F.S)。 830 / 840 SIDE-TRAK 質量流量計與控制器

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