Chapter 8 離子佈植 - 義守大學 I-Shou University

7 掺雜半導體: 擴散 ‧等向性 製程 ‧無法獨立控制掺雜接面深度與掺雜物濃 度 • 1970年代中期被離子佈植技術取代 8 掺雜半導體:離子佈植 ‧可獨立控制掺雜物濃度(離子束電流與佈 ...

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