RGA(殘餘氣體分析儀器)在半導體製程上的應用 - Thin Film&Oxidation[薄膜&氧化] - 半導體技術天地 - 工程師的家園 ...

基本原理其實不外乎利用平均自由徑與壓力間的關係，以提高RF共振頻率及縮小四極 ... 殘留氣體分析（RGA）在化學工藝監控和異常情況檢測中具有很長的應用歷史．殘留氣體分析器（residual gas analysis, RGA）具有很高的化學選擇性和靈敏度,因此在 ...

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