Quatek Co.,Ltd-渦電流法原理 - 德技科技股份有限公司-靜電測量,霍爾效應分析儀(Hall Effect Measurement System,四點探針 ...

渦電流法原理 < 非接觸表面電阻測量的機理 > 高頻電流 I （圖 1） 如上圖所示, 幾兆赫茲的高頻電流在兩個相距幾毫米的感測器(鐵素體和馬口鐵)中導通。 當晶圓片插入到兩感測器之間,渦電流就通過高頻電感耦合在圓晶片中產生。 此後渦電流導通在圓 ...

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