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半導體製程(4版) Microchip Fabrication 第5章 :污染控制 Peter Van Zant 著 姜庭隆 譯 李佩雯 校閱 滄海書局 中 華 民 國 90 年 11 月 28 日 US FED STD 209E Cleanroom Standards Class maximum particles/ft3 ISO equivalent >0.1 μm >0.2 μm >0.3 μm >0.5 ...

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