PSS提升藍寶石基板附加價值，台廠產能與品質佳但陸資廠將急起直追 - LEDinside

PSS(Patterned Sapphire Substrate)，也就是在藍寶石襯底上生長乾法刻蝕用掩膜，用標準的光刻製程將掩膜刻出圖形，利用ICP刻蝕技術刻蝕藍寶石，並去掉掩膜，再在其上生長GaN材料，使GaN材料的縱向發展變為橫向。 一方面可以有效減少GaN外延材料的位錯 ...

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