PECVD電漿Arcing之改善研究__臺灣博碩士論文知識加值系統

本論文主要以晶圓廠中ASM PECVD PETEOS 製程發生之實際問題Plasma Arcing 作題目.PECVD Plasma Arcing 會導致沉積之薄膜產生厚度不均勻之結果，因為 ...

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