PECVD專利的管理分析 - OSEC光電及半導體設備產業

2010年9月3日 - 希望透過本章節之分析能對於從事PECVD之研發人員，對各代PECVD的專利 .... 由 圖 2 所示的 IPC 分類架構可知，以 H01L021/70 為例， IPC 又可 ...

www.osec.org.tw