採用滾輪輸送,對於基板進行全面性高精度之均一塗佈 2.) 配合光阻油墨及塗佈滾輪 ,膜厚範圍1~2um,膜壓均勻性±10% 3.) 可藉由塗佈輪間之間隙及塗佈速度,進行 ...
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